1544-7618
Weekday.
am 09:00 ~ pm 06:00
Sat/Sun/Bank Hoildays Closed.
Midas System WorldWide
-
MDA-400LJ
MDA-400LJ는 낮은 가격대의 제품이며, 광원을 수은램프가 아닌 UV LED(365nm) 사용함으로써 램프 교체가 …
-
MDA-400M
MDA-400M 은 합리적인 가격에 높은 성능을 발휘하는 매뉴얼 방식의 마스크 얼라이너로써, 조각부터 최대4…
-
MDA-400S
MDA-400S는 합리적인 가격대 제품군으로 PLC 제어방식의 레벨링 시스템이 적용된 마스크 얼라이너로써, 최…
-
MDA-150
MDA-150은 사용자의 용도에 따라 여러 가지 타입의 장비를 선택할 수 있는 맞춤 제작이 가능한 특징을 가…
-
MDA-150
MDA-150은 사용자의 용도에 따라 여러 가지 타입의 장비를 선택할 수 있는 맞춤 제작이 가능한 특징을 가…
-
MDA-60MS
MDA-60MS는 Z- axis 모션이 모터로 동작하고 당사에서 개발한 비전 프로그램을 사용했으며, 최대 6인치 시…
-
MDA-80SA
MDA-80SA는 세미 오토 모델로 조이스틱으로 스테이지를 제어 하는 방식으로 최대 8인치 시료의 공정이 가…
-
MDA-12SA
MDA-12SA는 세미 오토 모델로 조이스틱으로 스테이지를 제어 하는 방식으로 최대 12인치 시료의 공정이 가…
-
MDA-20000SA
MDA-20000SA는 대면적 공정에 특화된 장비로 Film이나 Glass 뿐만 아니라, 다양한 종류의 대면적 기판…
-
MDA-40FA
MDA-40FA는 풀 오토 장비로 시료 사이즈 2”4”6” 의 양산 전용 모델로, 성능 대비 가격이 합리적이며, 주로…
-
MDA-80FA
MDA-80FA는 풀 오토 장비로 시료 사이즈 8” 의 양산 전용 모델로, 성능 대비 가격이 합리적이며, 주로 기…
-
MDA-12FA
MDA-12FA는 풀 오토 장비로 시료 사이즈 12” 의 양산 전용 모델로, 성능 대비 가격이 합리적이며, 주로 기…
-
Film type TSP aligner
◦ Vision system - Microscope : Dual scope & CCD
-
Cell type TSP aligner
◦ Vision system - Cognex. board - Microscope : Dual scope & CCD Conveyor moving system
-
MDA-400LJ
MDA-400LJ는 낮은 가격대의 제품이며, 광원을 수은램프가 아닌 UV LED(365nm) 사용함으로써 램프 교체가 …
-
Spin-1200D
Compact unit for various coating solutions Programmable Recipe management Easy operation
-
Spin-3000D
Compact unit for various coating solutions Programmable Recipe management Easy operation Adopt D…
-
Spin-3000A
Compact unit for various coating solutions Programmable Recipe management Easy operation Adopt D…
-
Spin-5000A
Programmable Recipe management Easy operation Adopt Drain, Exhaust hole in bowl
-
Spin-1200T
Touch panel control Compact unit for various coating solutions PC Recipe management Easy operati…
-
Spin-3000T
Touch panel control Compact unit for various coating solutions PC Recipe management Easy operati…
-
Intensity meter
UV 365nm의 intensity를 측정하는 계기
-
Spin Process (Etcher)
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ Strip & Cleaning ⇒ RINSE ⇒ DRY …
-
Auto Wet Station
• Control : PLC/PC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ BOE ⇒ O/F ⇒ SPM ⇒ H/QDR ⇒ HCl ⇒ QD…
-
Auto Wet Station
• Control : PLC/PC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ Al Etch ⇒ QDR ⇒ F/Rinse ⇒ IPA…
-
Tube Cleaner (300mm)
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ HF/HNO3 ⇒ HF ⇒ Rinse ⇒ Un Loadi…
-
Spin Etcher
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ ACID ⇒ Rinse ⇒ Spin Dry ⇒ Un Lo…
-
Cassette Cleaner
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ Hoot & Cool DIW ⇒ Shower ⇒ Hot N2…
-
CIS Auto Wet Station
• Control : PLC + Touch Screen (FDC /SECS Response) • Process : Loading ⇒ Acetone ⇒ IPA…
-
Glass Cleaner
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ Roll Brush ⇒ Rinse ⇒ Air Knife ⇒…
-
Mask Wet Station
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Manual Deep Strip ⇒ Rinse ⇒ Spin Load ⇒ Spin…
-
300mm DSOD (Direct Surface Oxide Defect)
• Control : PLC + Touch Screen • Process : Loading ⇒ TR Robot ⇒ HF ⇒ Rinse ⇒ Air kni…
-
Other Cleaning Equipment (FPD)
• Initial Cleaner • Pre Deposition Cleaner • Cell Cleaner • Line Cleaner (AMOLED) • Etcher …
-
DI System
• DI System Raw water -> Anthracit -> Carbon Filter -> Micro Filter -> R/O System -> Mixed Bed -> …
-
Wet Scrubber
• Heat Wet Scrubber -Dimension : 720 x 860 x 1700 -Capacity : 500 lpm -Weight : 450 Kg …
-
Tube Cleaner
• Easy to input and change of parameter • Monitoring function(Panel of touch screen) • Rocking or…
-
Cassette Cleaner
• Cassette dipping & transfer : Manual (Operator) • Improvement of particle removing effect with t…
-
Spin Cleaner (Single Process)
• Main body : SUS 304 Polishing • 8”Ceramic / 12”Ceramic manual loading • Spin rpm : 3000 rpm •…
-
Spin Cleaner (Single Process)
• Main body : Ivory PVC • 8”Wafer / 12”Wafer manual loading • Process chamber : 3 layer • Proc…
-
Wafer Thinning Auto Wet Station
• Wafer size : 8”wafer / Loading cassette : 2 cassette (50 Sheet) • Loading wafer thickness : 200…
-
Manual Wet Station
• Cassette dipping & Transfer : Manual (Operator) • Improvement of particle removing effect with t…
-
Auto Wet Station (Cassette / Cassette less)
• Able to face FA through carrying robot in between apparatus, exchange of wafer, introduction of c…